Πώς να χρησιμοποιήσει Εκτροπή μαγνήτες για επιμετάλλωσης Εναπόθεση

Sputtering είναι μια μέθοδος για την απόθεση πολύ λεπτών υλικών στο εύρος πάχους από 5 έως 1000 νανόμετρα . Η αρχή πίσω από επιμετάλλωση είναι σχετικά απλή και περιλαμβάνει τη χρήση της επιταχυνόμενης ιόντα αερίου για να βομβαρδίσουν ένα υλικό -στόχο . Τοποθετώντας ένα κατάλληλο υπόστρωμα πάνω από το υλικό στόχο επιτρέπει μερικές από τις διασκορπιζόμενων ατόμων για να συμπυκνωθεί και να σχηματισθεί ένα λεπτό φιλμ . Πρότυπο sputtering είναι μια αρκετά αναποτελεσματική διαδικασία από το πλάσμα ( ιόντα αερίου) δεν είναι εντοπισμένες στο υλικό -στόχο . Magnetron sputtering παίρνει γύρω από αυτό με την τοποθέτηση μιας σειράς μαγνήτες εκτροπής πίσω από το υλικό-στόχο , περιορίζοντας έτσι το πλάσμα και τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας. Τα πράγματα που θα χρειαστείτε
μόνιμοι μαγνήτες
εκτοξεύσεως σύστημα

Παρουσίαση Περισσότερες οδηγίες
Η 1

Μετρήστε την ακτίνα του sputtering στόχου που πρόκειται να χρησιμοποιηθεί . Το πλάσμα πρέπει να περιορίζεται στο εσωτερικό αυτής της ακτίνας . Αποφασίστε σε μια κατάλληλη ακτίνα . 2

Υπολογίστε το μαγνητικό πεδίο που απαιτείται για να περιορίσουν το πλάσμα σε αυτή την ακτίνα . Για να το κάνετε αυτό, χρησιμοποιήστε την εξίσωση για την ακτίνα κυκλοτρονίων :

μαγνητικό πεδίο SQROOT = ( 2 x K xm ) /( exr )

Στην παραπάνω εξίσωση , SQROOT σημαίνει τετραγωνική ρίζα πάντα μέσα στις αγκύλες . Κ είναι η κινητική ενέργεια των ιόντων , m είναι η μάζα των ιόντων , e είναι το φορτίο του ηλεκτρονίου , και r είναι η ακτίνα από το Βήμα 1 .
Εικόνων 3

Σχεδίαση σειρά μαγνητών η οποία θα παράγει το μαγνητικό πεδίο που υπολογίστηκε παραπάνω. Έχουμε κατά νου ότι οι μαγνήτες θα πρέπει να τοποθετείται πίσω από το υλικό-στόχο . Ως εκ τούτου , το μαγνητικό πεδίο του μαγνήτη πρέπει να είναι το ένα υπολογίστηκε ανωτέρω , στην επιφάνεια του υλικού-στόχου .
Η 4

Αποσυναρμολογήστε το πιστόλι διασκορπισμού , και τοποθετήστε τους μαγνήτες πίσω από το υλικό-στόχο . Σημειώστε ότι αυτό μπορεί να συνεπάγεται ένα σημαντικό επανασχεδιασμό του όπλου.
Η
εικόνων