Το πρώτο τρανζίστορ μετάλλου-οξειδίου-ημιαγωγού (MOS) εφευρέθηκε το 1959 από τους Mohamed M. Atalla και Dawon Kahng στα Bell Labs. Το MOSFET (τρανζίστορ πεδίου δράσης μετάλλου-οξειδίου-ημιαγωγού) εφευρέθηκε από τους Kahng και Atalla το 1959 και η πρώτη εμπορική συσκευή CMOS (συμπληρωματικό MOS) κατασκευάστηκε το 1968 από την Fairchild Semiconductor.