Τύποι Plasma Ηλεκτρόδια

Η Semiconductor Industry Association ( SIA ) αντιπροσωπεύει το 90 τοις εκατό των ημιαγωγών προϊόντων που παράγονται στις Ηνωμένες Πολιτείες . Η πολλών δισεκατομμυρίων δολαρίων βιομηχανία ημιαγωγών πουλάει εκατομμύρια μικροσκοπικά μικροτσίπ ηλεκτρονικών υπολογιστών , τα οποία έχουν δημιουργηθεί με ηλεκτρόδια πλάσματος . Τύποι ηλεκτροδίων πλάσματος είναι : ηλεκτρόδια κύμα επαγωγής σε συνδυασμό , φούρνο μικροκυμάτων ή το ραδιόφωνο . Ηλεκτρόδια πλάσματος στο κάτω μέρος του κλιβάνου αξόνων , φθάνουν σε θερμοκρασίες πάνω από 6000 βαθμούς Κελσίου. Ηλεκτρόδια Plasma εξάτμιση μετάλλων , η οποία παλτά χαλκό ή σιλικόνη που σχηματίζει ημιαγωγών . Ηλεκτρόδια ηλεκτρικής εκκένωσης πλάσματος Ηλεκτρόδια
Η

Plasma απελευθέρωση ηλεκτρικό ρεύμα μέσα από μια ουσία που δεν άγει τον ηλεκτρισμό . Air μονώνει . Δεν άγει τον ηλεκτρισμό , αλλά ένα ηλεκτρικό πεδίο αρκετές χιλιάδες volt διέρχεται μέσω κανονικά μονωτικού αέρα , δημιουργεί άζωτο, οξυγόνο και άλλα αέρια ιόντα . Το ηλεκτρόδιο πλάσματος προκαλεί αρνητικά φορτισμένα ηλεκτρόνια να διακόψει τις αζώτου ή οξυγόνου και αφήνει τα θετικά φορτισμένα ιόντα . Τα ιόντα και τα ηλεκτρόνια (πλάσμα) κινούνται ξεχωριστά μέσω του υψηλής τάσεως δημιουργώντας ένα ηλεκτρικό ρεύμα . Plasma διεξάγει ηλεκτρικό ρεύμα .
Εικόνων Vaccuum Arc Plasma Ηλεκτρόδια
Η

κενού τόξου ηλεκτρικές εκκενώσεις χρησιμοποιούν επιστρώσεις πλάσματος στη μεταλλουργία και οι ταινίες του πλάσματος . Τα τόξα κενού είναι από ζεύγη ηλεκτροδίων υψηλής τάσης σε ένα θάλαμο κενού . Το ηλεκτρικό τόξο φέρει το ιονισμένο πλάσμα και κατευθύνει το μαγνητικό τόξο για να επικαλύψει μια επιφάνεια μικροτσίπ. Το τόξο μπορεί να κατευθύνεται με ένα μαγνητικό πεδίο . Επίστρωση μικροτσίπ με μια φορτισμένη τόξου πλάσματος είναι μια διαδικασία που ονομάζεται « εναπόθεση κενού τόξου . " Σταγόνες υγρού μετάλλου σπρέι από την επιφάνεια των ηλεκτροδίων , τα οποία μειώνουν την ποιότητα της λεπτής επίστρωσης πλάσματος . Τα ασυνεπή σταγονίδια απομακρύνονται από την δέσμη πλάσματος εμποδίζοντας την ροή του τόξου πλάσματος μεταξύ του ηλεκτροδίου και της επιφανείας του ημιαγωγού . Αυτή η διαδικασία ονομάζεται " διηθείται υπό κενό εναπόθεση τόξου . "

Η Corona και Glow Απαλλαγή Ηλεκτρόδια
Η

Corona ηλεκτρική εκκένωση είναι μια μερική ανομοιογενές ηλεκτρική εκκένωση . Corona ηλεκτρική εκκένωση δημιουργείται από ένα ηλεκτρικό πεδίο υψηλής τάσης κοντά σε ένα αιχμηρό ηλεκτρόδιο . Corona είναι ένα χαμηλό ρεύμα , εκκένωσης υψηλής τάσης . Λάμψη απορρίψεις είναι αρκετές εκατοντάδες βολτ και αμπέρ 1 του ρεύματος . Η χαμηλή ιονισμένο ρεύμα ενισχύεται σε σύγκρουση με άλλα σωματίδια. Η ενίσχυση δημιουργεί δευτερογενή ηλεκτρόνια . Οι ηλεκτρικές εκκενώσεις που δημιουργούνται επίσης με μικροκύματα ή λέιζερ κύματα με ή χωρίς ηλεκτρόδια .
Εικόνων χωρητικά συζευγμένο πλάσμα ( CCP ) Ηλεκτρόδια
Η

Μια χωρητικά συζευγμένου πλάσματος ( CCP ) ηλεκτρόδιο είναι στην πραγματικότητα δύο ηλεκτρόδια πλάσματος με μικρή απόσταση μεταξύ τους μέσα σε ένα αντιδραστήρα. Πίεση από το αέριο εντός του αντιδραστήρα μπορεί να είναι χαμηλότερη από την πίεση της ατμόσφαιρας. Ένα ηλεκτρόδιο ΚΚΚ διευθύνει ραδιοκύματα , συνήθως σε 13,56 MHz . Ένα ηλεκτρόδιο πλάσματος συνδέεται προς την ηλεκτρική ισχύ , και το άλλο είναι το ηλεκτρόδιο γείωσης . Τα ηλεκτρόδια συνδέονται ΚΚΚ παράλληλα , και το πλάσμα που σχηματίζεται με αυτόν τον τρόπο χωρητικά συζευγμένο πλάσμα . Χωρητικά συζευγμένο πλάσμα παράγει μερικές φορές το φως , ενώ παράλληλα δημιουργούν πλάσμα με έναν πυκνωτή . Ηλεκτρόνια βομβαρδίζουν ένα ηλεκτρόδιο γίνει γρήγορα αρνητικά φορτισμένα , και δημιουργούν δευτερεύοντες ρεύμα πλάσματος εκτός από το εναλλασσόμενο ρεύμα . Ένα συνεχές ρεύμα ηλεκτροδίων διεγείρει τα ηλεκτρόνια και ιόντα χρεώσεις . Καταθέσεις αυτό microprocess μία λεπτή μεμβράνη πλάσματος σε ένα ηλεκτρόδιο . Ημιαγωγοί από CCP μπορεί να χαραχθεί.
Η
εικόνων